三维微结构高频动态测试分析方法与系统

三维微结构高频动态测试分析方法与系统摘要：近年来，随着三维微纳制造技术的发展，微纳结构的应用日益广泛。其中，高频微结构的动态特性测试分析是研究的重要方向之一。本文针对这一问题，提出了一种三维微结构高频