碳化硅（SiC）抛光工艺研究

云光技术 第 45卷 第 2期碳 化硅 (Si C)抛光工艺研究胡 忠 ，冯 渊 ，黎 霞，应 常宇(云南北方驰宏光 电有 限公司 ，云南 昆明 65 0 21 7)摘要：碳化硅 (Si C)作为一种