薄膜沉积PVD和CVD

- 物理氣相沈積 - 1.蒸鍍:將被蒸鍍物體加熱(電阻式或電子束)，利用其在高溫時所 具備的飽和蒸氣壓來進行薄膜的沈積簡易真空蒸鍍機： ‧蒸鍍