集成电路工艺原理作业王蔚1

集成电路制造技术作业热氧化1、解释名词：自掺杂 外扩散 SOS技术 SOI技术。答：自掺杂：是指在高温外延时，高掺杂衬底中的杂质从基片外表面扩散进入气相边界层，又从边界层扩散掺入外延层的现象。外扩散：