倒岛膜凹槽电容式压力传感器设计与特性分析

倒岛膜凹槽电容式压力传感器设计与特性分析倒岛膜凹槽电容式压力传感器的设计与特性分析摘要：本文介绍了一种倒岛膜凹槽电容式压力传感器的设计与特性分析。该传感器的结构简单，灵敏度高，动态响应快，可广泛应用于