diamond多层膜研究的开题报告

适用高频声表面波延迟线的AlN(002)/diamond多层膜研究的开题报告一、研究背景及意义高频声表面波（SAW）技术已广泛应用于通信、传感、无线电频率识别等领域。SAW延迟线作为SAW器件的重要组