InN薄膜与纳米结构的生长及其物性研究的中期报告

InN薄膜与纳米结构的生长及其物性研究的中期报告本研究的中期报告主要介绍了基于金属有机化合物分解法(MOCVD)制备InN薄膜和纳米结构的生长条件优化以及生长后的物性分析的进展情况。首先，在MOCVD