OISF氧化诱生层错

晶体中的层错 晶体的堆垛层错（stacking fault）与晶体位错（dislocation）一样，也是一种晶体缺陷，但层错是一种二维的缺陷或者面缺陷。在半导体晶体中，这些缺陷对于载流子而言，都将形