精选半导体制造工艺05光刻下

- 2、下层反射造成驻波，下层散射降低图像分辨率。 - DUV胶—>ARCg线和i线胶—>使用添加剂，吸光并降低反射，曝光后显影前的烘烤也有利于缓解其驻波现象。