FCVAD技术制备CrCN薄膜的热稳定性研究

FCVAD技术制备CrCN薄膜的热稳定性研究摘要：本文采用FCVAD（双离子束辅助磁控溅射技术）技术制备CrCN薄膜，并通过热稳定性实验研究薄膜的稳定性。实验结果表明，FCVAD技术制备的CrCN薄膜