飞秒激光对金属和半导体薄膜的烧蚀与微加工研究

飞秒激光对金属和半导体薄膜的烧蚀与微加工研究摘要：本文主要介绍了飞秒激光在金属和半导体薄膜微加工中的应用。通过研究发现，飞秒激光可以有效地进行薄膜的烧蚀和微加工，具有高精度、高效率和低污染等优点。因此