一种利用变通的离子散射谱测量进行浓度定标的二次离子质谱深度剖析定量方法

一种利用变通的离子散射谱测量进行浓度定标的二次离子质谱深度剖析定量方法二次离子质谱深度剖析定量方法是材料科学研究中广泛应用的技术之一，其原理是利用高能离子束轰击材料表面，产生二次离子，通过离子质谱分析