高能氮离子轰击对四面体非晶碳膜的表面改性和摩擦系数影响的研究

高能氮离子轰击对四面体非晶碳膜的表面改性和摩擦系数影响的研究摘要本文研究了高能氮离子轰击对四面体非晶碳膜表面改性和摩擦系数的影响。实验结果表明，高能氮离子轰击可以显著改善四面体非晶碳膜的表面质量和化学