基于数字全息的微纳结构测量及其关键技术研究

基于数字全息的微纳结构测量及其关键技术研究数字全息技术是一种能够记录并重建物体光学信息的先进技术，它可以实现对微纳结构的三维测量。微纳结构是指具有微米或纳米尺寸的结构，具有重要的应用价值，如微型器件、