SiO2SiC界面过渡区及其等离子体钝化工艺研究的任务书

SiO2SiC界面过渡区及其等离子体钝化工艺研究的任务书任务书研究题目：SiO2/SiC界面过渡区及其等离子体钝化工艺研究研究规模：该研究是一项基础研究，规模适中，涉及实验室内研究人员和设备的使用。研