被污染Au-Si表面势垒探测器性能的恢复方法

被污染Au-Si表面势垒探测器性能的恢复方法被污染Au-Si表面势垒探测器性能的恢复方法摘要：面势垒探测器是一种常用的半导体器件，用于检测光子、电子或其他粒子的能量。然而，在使用过程中，Au-Si接触