PVD真空镀膜机作业指导书

PVD 真空镀膜机作业指导书一.开机唐1.检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作（水压需达到 0.4Mpa 以上） 。芃 2. 检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作（气压需达到 0.5M