TEGAL421等离子刻蚀机射频电源的维修及调整

TEGAL421等离子刻蚀机射频电源的维修及调整TEGAL421等离子刻蚀机射频电源的电路图如下： 各部分电路的作用，DC Power Supply Board板是一块电源板提供射频源工作所