MEMS中变截面梁优化数学模型的建立

MEMS中变截面梁优化数学模型的建立MEMS（微机电系统）是一种以微纳米技术为基础的小型机电系统，常用于传感器、执行器和微型机器人等场合。在MEMS的制造中，变截面梁是一种重要的结构基元，其在MEMS