ISS9010型蓝宝石晶体生长炉的研制

ISS9010型蓝宝石晶体生长炉的研制【摘 要】本文主要介绍一种采用独特的LSG工艺技术生长大尺寸高质量蓝宝石晶体的新型设备的设计思路以及工作原理，结合晶体生长的特殊工艺要求，分析了其主要结构和特点。