大气压氩气射频辉光放电数值模拟研究

大气压氩气射频辉光放电数值模拟研究摘要：本文采用数值模拟方法，研究了大气压下氩气射频辉光放电的物理过程和特性。通过计算出等离子体密度、温度、电子数密度等参数，分析了辉光放电中能量转换和电子复合等过程。