常用MEMS器件的失效分析开题报告

常用MEMS器件的失效分析开题报告1.引言MEMS（微电子机械系统）作为一种兼具机械、电子、光学、热学和材料科学等多领域交叉的技术，已经在传感器、微系统和生物医疗等各个方面得到广泛应用。然而，MEMS