5化学气相淀积

化学气相淀积教学目的：1  了解化学气相淀积概念  2  了解化学气相淀积系统和方法 3  了解外延的概念和生成方法 4  掌握CVD质量检测教学重点：化学气相淀积系统和方法、外延的概念和生成方法、C