金属材料ICP深刻蚀基础研究

金属材料ICP深刻蚀基础研究摘要：在现代微纳电子器件中，金属材料的ICP深刻蚀技术被广泛应用于制造微型结构。本文基于ICP深刻蚀技术，在金属材料中进行了基础研究。首先，介绍了ICP深刻蚀技术的原理和优