递进式拟合方法对椭偏测量中薄膜参数精确度的研究

递进式拟合方法对椭偏测量中薄膜参数精确度的研究引言随着科技的进步，椭偏测量法逐渐成为了薄膜厚度测量和表面形态分析的重要工具。针对椭偏测量中薄膜参数的测量精度问题，近年来，递进式拟合方法逐渐被应用到薄膜