《课件3材料和工艺》

- 第3章 微传感器的常用材料及加工工艺 微型化作为传感器的主要开展方向,不仅是各应用领域需求推动的结果,也是科学技术开展的一个必然.没有相应的材料制备以及根底加工工艺的支持,要实现微传感器