类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置

一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置，包括磁控溅射靶，磁控溅射靶前设有磁靴, 其中磁靴由一对磁场相反的电磁铁组成，磁靴产生的磁场平行于磁控溅射靶的靶面。本发明 磁靴增强磁控溅射镀膜装置离化率可以