基于平板玻璃的微器设计

基于平板玻璃的微扫描器设计摘要: 在超分辨率成像技术中，微扫描器是实现超分辨率成像的关键部件；光学微扫描技术是微扫描亚像元成像系统中的核心技术之一。研究了平板调制式微扫描器的原理和方法，分析了微扫描平