半导体工艺课程设计
半导体工艺制造课程设计--微电子学院一、概述芯片制造过程二、关键工艺 图形转换:将设计在掩膜版(类似于照相底片)上的图形转移到半导体单晶片上 掺杂:根据设计的需要,将各种杂质掺杂在需要的位置上
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