薄膜材料工艺

薄膜材料工艺概述 材料学 09020109 江期鸣摘要:强调了薄膜的概念,并对薄膜的性质及用途作了简要的概述。从物理方法、化学方法及溶胶-凝胶法等这几类方法概括了各种薄膜的基本制备方法。并重点介绍了溶