射频偏压等离子体鞘层特性的二维流体力学模拟的任务书

射频偏压等离子体鞘层特性的二维流体力学模拟的任务书任务书：射频偏压等离子体鞘层特性的二维流体力学模拟一、任务概述在现代等离子体技术中，射频偏压被广泛应用于等离子体放电过程，以控制等离子体的密度、温度、