镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜的制备与性质研究的中期报告

镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜的制备与性质研究的中期报告1. 研究背景镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜是重要的半导体材料，在光电领域和电子器件中具有广泛的应用。其中，镓铟氧化物薄膜以其高透明性、低电阻率和高导电