从 FinFET 到 CFET imec 持续的晶体管缩放计划

近日,imec研究人员发现了有关"互补FET”的新发现，这是一种适用于1 nm及以上逻辑技术节点的有吸引力的器件架构。此前的一个技术难点是：在forksheet场效应晶体管（FET）中,nFET和 p