FINFET技术

FINFET技术 朱范婷 (上海交通大学微电子学院 上海 200030) 摘要: CMOS的发展紧随摩尔定律的步伐不断缩小特征尺寸的同时,不断增加的亚阈值电流和栅介质漏电流成为了