表面工程技术3物理气相沉积

§3 物理气相沉积§3.1 概述气相沉积过程：1、供给气相膜料2、膜料的输运3、薄膜的形成膜料输运到基片（衬底、基底、基体）上后沉积下来形成薄膜。气相沉积分类：1、物理气相沉积（PVD，Physica