压电直线电机及其驱动控制的研究

压电直线电机及其驱动控制的研究摘 要本课题来源于国家自然科学基金项目《压电精密致动技术的基础研究》（项目编号：50735002）。压电直线电机能够直接输出直线运动，具有体积小，控制精度高、无电磁干扰、