MeV重离子轰击引起金属膜抗蚀性的研究

MeV重离子轰击引起金属膜抗蚀性的研究标题：MeV重离子轰击引起金属膜抗蚀性的研究摘要：随着电子技术的快速发展，金属膜在各种领域广泛应用，但其腐蚀问题仍然困扰着人们。本文通过MeV重离子轰击的研究，探