Si基微环谐振腔化学传感检测方法研究

Si基微环谐振腔化学传感检测方法研究摘要：本文主要研究了一种基于Si基微环谐振腔的化学传感检测方法。首先介绍了微环谐振腔的基本原理和制备方法，然后阐述了该方法在化学传感中的应用，以及与传统化学传感技术