脉冲偏压电弧离子镀CR-O薄膜制备及其性能研究

脉冲偏压电弧离子镀CR-O薄膜制备及其性能研究摘要：本文采用脉冲偏压电弧离子镀技术，制备了CR-O薄膜，并对其性能进行了研究。实验结果表明，所制备的CR-O薄膜具有良好的化学稳定性和机械性能，并具有优