化学气相沉积技术发展与应用论文

化学气相沉积技术的发展与应用【摘要】本文介绍了化学气相沉积技术的发展及其应用，在分析其原理、特点的基础上，介绍几种常用的化学气相沉积技术，并对其未来的发展趋势提出构想。【关键词】化学气相沉积、发展、应