氯硅烷残液处理技术研究进展

氯硅烷残液处理技术研究进展氯硅烷残液处理技术研究进展氯硅烷（Chlorosilanes）是一种含有硅和氯的有机化合物，常用于制造硅基化学品和半导体材料。在生产过程中，氯硅烷的应用极其广泛，但其残液处理