锗硅异质结晶体管的工艺集成设计的开题报告

锗硅异质结晶体管的工艺集成设计的开题报告一、选题背景现代集成电路设计中，因快速工艺升级的冲击，迭代次数和设计周期都在不停缩短，同时晶体管的电路性能对设计的关键影响也变得更加重要。异质结晶体管作为一种新