硅片存在的问题及解决方法 ppt课件

- 工艺入门 - 切片工艺是设备（包括设备状态和设备准备），切割材料和基于耗材的切割条件的综合。为确保好的切割和保持尽可能高的收率，就必须认真对待下面每一步。