高分子电容式湿度传感器热真空试验技术的研究

第十五届中国湿度与水分学术交流会论文集 摘 要：研究了真空环境和温度变化综合作用下湿度传感器输出变化特性，从机理上分析了产生该现象的原 因，通过试验方式得到输出与热真空条件之间的变化关系。试验结果表明