静电感应晶闸管开通过程的研究

静电感应晶闸管开通过程的研究李 思 渊 政 聂 ， 甘 肃 兰 兰 州 大 学 物理科学与技术学院微电子研究所州, ， ， 730000 , ) 摘 要 静电感应晶闸管的开通时间 区 的 厚 度 深

静电感应晶闸管开通过程的研究 李思 渊政 聂， 甘肃 兰兰 州大 学物理科学与技术学院微电子研究所州, ，， 730000 , )摘 要静电感应晶闸管的开通时间 区的 厚度 深入 研究 了关 断时 间它们受空穴存贮时间 栅宽 阳极 电, 、， 、、n 、流 及栅极抽出的峰值电流的影响 研究结果对于静电感应器件 特别是对于静电感 应晶 在工艺中需要折衷考虑 ，。 ， 闸管的设计和制造有一定的实用价值 。 关键 词开 通时 间关 断时 间静电感应晶闸管 ,, ,中 图分 类号 文献 标识 码文 章编 号,TN34 ,A ,1000-100X,2011,01-0106-03 Research on the Turn-on Processof Static Induction Thyristor ，NIE Zheng LI Si-yuan ,Institute of Microelectronics ，School of Physics Scienceand Technology ， LanzhouUniversity ，Lanzhou 700003 ，China , Abstact ,The dynamic parameters of static induction thyristor ，just as turn-on time ，turn-off time ，are investigated. r -They are influenced by many parameters such as storage time of hole ，gate width ，the depth of the narea ，anode current and the peak current extracted from gates.They need a compromise decision.The results forare design useful and fabrication of static induction de vice ，especially for static