MEMS力学量传感结构的单面加工技术

MEMS力学量传感结构的单面加工技术MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）力学量传感结构是一种基于微纳制造技术的传感器结构，具有小尺寸、高灵敏度和快速响应等优势。