退火工艺对磁控溅射 LiCoO2 薄膜形貌与力学性能的影响

2019 年第 6 期第 39 卷第 90 – 98 页航 空 材 料 学 报JOURNAL OF AERONAUTICAL MATERIALS2019,Vol. 39No.6 pp.90 – 98退

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