纯水检测方法

纯 化 水1 主题内容与通用范围本标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水（以下称高纯水）的级别、技术 要求、测试方法和规则。 本标准适用于去离子处理后的高纯水。2 引用标准GB 11446 电子级水及其