单晶炉热场结构试卷
单晶炉热场结构试卷 一、填空题 1.的优劣对单晶硅的质量有很大影响。合适的热场,能够生长出高质量的单晶。不好的热场容易使单晶变成 ,或者根本无法引晶。 2.直拉单晶炉的热系统,
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