激光对硅片掺杂和退火的研究

激光对硅片掺杂和退火的研究激光对硅片掺杂和退火的研究摘要：近年来，激光技术在硅片掺杂和退火方面得到了广泛的研究和应用。本文综述了激光对硅片掺杂和退火的研究进展，并讨论了激光对硅片掺杂和退火的机制和影响